특허보유현황
정전용량 변위 측정용 그래핀 패치 및 이의 제조 방법 및 이를 이용한 변위 측정 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170062375
출원일
2017-05-19
공개번호
1020180127057
공개일
2018-11-28
등록번호
1019546990000
등록일
2019-02-27
IPC 분류
G01B 7/00|G01B 7/04|G01R 27/26|G01D 5/241
대표도면
요약
본 발명은 마이크로 또는 나노 단위의 미세 변위를 측정하기 위한 정전용량 변위 측정 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 표적이 부도체인 경우에도 정전용량을 이용한 변위 측정이 가능한 정전용량 변위 측정용 그래핀 패치 및 이를 이용한 변위 측정 시스템에 관한 것이다.
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