특허보유현황
롤투롤 진공 증착 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170065916
출원일
2017-05-29
공개번호
1020170063488
공개일
2017-06-08
등록번호
1018520510000
등록일
2018-04-19
IPC 분류
H10K 71/00|H10K 99/00
대표도면
요약
본 발명 롤투롤 진공 증착 시스템은, 유연성 기판이 권취된 권취롤과 권취롤로부터 풀려진 기판이 되감기는 회수롤이 내장된 진공챔버와, 권취롤로부터 회수롤로 이동되는 기판 하부에 위치되도록 진공챔버 내부에 장착된 증착유닛과, 권취롤로부터 회수롤로 이동되는 기판 하부에 위치되고, 기판을 선택적으로 증착유닛에 노출 또는 은폐하는 마스크 셔터장치를 포함하며, 마스크 셔터장치가 기판을 선택적으로 증착유닛에 노출 또는 은폐하게 되므로, 증착물질 증착이 선택적으로 이뤄지게 되고, 궁극적으로, 불연속적으로 증착물질이 기판에 증착되는 효과가 있다.
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