특허보유현황
오염 물질 제거율 향상을 위한 저압 플라즈마 반응기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170069746
출원일
2017-06-05
공개번호
1020180133151
공개일
2018-12-13
등록번호
1019808400000
등록일
2019-05-15
IPC 분류
B01D 53/32|H05H 1/46
대표도면
요약
오염 물질 제거율 향상을 위한 저압 플라즈마 반응기가 개시된다. 저압 플라즈마 반응기는 절연체, 제1 접지 전극, 고전압 전극, 제2 접지 전극, 및 자기장 발생부를 포함한다. 절연체는 공정 가스가 통과하는 관형으로 이루어지고, 제1 접지 전극은 절연체와 진공 펌프를 연결하는 관형으로 이루어진다. 고전압 전극은 제1 접지 전극과 거리를 두고 절연체의 외면에 위치하며, 교류 전원부와 연결되어 구동 전압을 인가받는다. 제2 접지 전극은 제1 접지 전극의 내부에 위치하며, 자기장 발생부는 제1 접지 전극의 외측에 설치되어 제2 접지 전극 주위로 자기장을 인가한다.
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