특허보유현황
하이브리드 폴리싱 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170073691
출원일
2017-06-13
등록번호
1019276220000
등록일
2018-12-04
IPC 분류
B24B 37/20|B24B 37/34|B24C 1/08
대표도면
요약
본 발명은 하이브리드 폴리싱 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 하이브리드 폴리싱 장치는 중공이 형성되며 상기 중공의 축을 중심으로 회전하는 회전체, 회전체의 단부에 결합되어 회전체의 회전에 따라서 회전하며 중공이 형성된 연마패드 및 회전체의 중공 및 연마패드의 중공을 통해 연마패드와 접촉하는 가공대상물을 향하여 연마액을 분사시키는 분사연마부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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