특허보유현황
마스크 세정 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170090226
출원일
2017-07-17
공개번호
1020190008631
공개일
2019-01-25
등록번호
1019674060000
등록일
2019-04-03
IPC 분류
H10K 71/00|H10P 10/00|H01J 37/32
대표도면
요약
마스크 세정 장치는 공정 챔버, 마스크-프레임 조립체, 전극, 및 고전압 전원을 포함한다. 공정 챔버는 세정 가스가 유입되는 유입 포트와, 진공 펌프와 연결된 배기 포트를 포함한다. 마스크-프레임 조립체는 세정 대상인 패턴 마스크와, 패턴 마스크의 가장자리에 연결된 프레임을 포함하며, 공정 챔버의 내부에 위치한다. 전극은 공정 챔버의 내부에서 방전 공간을 사이에 두고 패턴 마스크와 마주하며, 절연체로 둘러싸인다. 고전압 전원은 마스크-프레임 조립체와 전극 중 어느 하나에 접속되어 플라즈마 방전을 위한 구동 전압을 인가한다. 마스크-프레임 조립체와 전극 중 다른 하나는 접지된다.
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