특허보유현황
저항형 압력센서의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 저항형 압력센서
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170092017
출원일
2017-07-20
등록번호
1018971300000
등록일
2018-09-04
IPC 분류
H10N 30/01|G01L 1/20|H10N 30/30|H10N 30/85
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 민감도가 향상된 저항형 압력센서의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 저항형 압력센서를 제공한다. 여기서, 저항형 압력센서의 제조방법은 복수의 미세공이 관통 형성되는 탄성 다공막을 마련하는 단계; 탄성 다공막의 일면에 증착되어 형성되고, 미세공과 연결되는 연결공이 형성되는 전도성의 제1레이어가 마련되는 단계; 미세공의 내측으로 미세 입자가 충진된 이외의 공간에 전도성 소재가 증착되어 채워지는 단계; 미세공의 내측으로 전도성 소재가 증착되어 채워지는 단계; 복수의 미세 입자가 제거되어 전도성 소재로 이루어지는 전도성 나노 기둥이 형성되는 단계; 그리고 탄성 다공막의 타면에 증착되어 형성되는 전도성의 제2레이어가 마련되는 단계를 포함한다.
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