특허보유현황
IPL 소결시 패턴 크기 의존성을 극복할 수 있는 전극 패턴의 형성 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170100299
출원일
2017-08-08
공개번호
1020190016278
공개일
2019-02-18
등록번호
1020261810000
등록일
2019-09-26
IPC 분류
H10P 50/26|H10P 10/00|H10P 76/40
대표도면
요약
IPL 소결시 패턴 크기 의존성을 극복할 수 있는 전극 패턴의 형성 방법에서 기판 상에 제1 패턴 및 오프닝부를 포함하는 제2 패턴을 형성한다. 상기 기판의 상부에서 상기 기판의 전면에 면광원을 제공하여 상기 제1 패턴 및 상기 오프닝부를 포함하는 제2 패턴을 연질경화시킨다.
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