특허보유현황
나노 채널을 제작하는 방법 및 상기 방법으로 제작된 나노 필터
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170102211
출원일
2017-08-11
공개번호
1020190018095
공개일
2019-02-21
등록번호
1019804400000
등록일
2019-05-14
IPC 분류
B01D 39/14
대표도면
요약
본 발명은 나노 채널을 제작하는 방법 및 상기 방법으로 제작된 나노 필터에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 나노 채널을 제작하는 방법은 나노 채널의 측벽을 형성하는 제 1 물질층과 나노 사이즈 두께의 제 2 물질층을 반복하여 적층시키는 단계, 상기 적층된 제 1 물질층과 제 2 물질층을 적층 방향으로 일정 두께를 가지도록 절단하여 단위 유닛을 형성하는 단계 및 상기 단위 유닛에서 상기 제 2 물질층을 선택적으로 식각하여 나노 채널을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
전문보기
기술이전 상담신청