특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
액적을 이용하는 대면적용 초음파 세정장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170114428
출원일
2017-09-07
공개번호
1020190027531
공개일
2019-03-15
등록번호
1020082430000
등록일
2019-08-01
IPC 분류
H10P 72/00|B08B 3/12|H10P 10/00
대표도면
요약
본 발명은 액적을 이용하는 대면적용 초음파 세정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 수용공간에서 기체와 액체를 혼합하여 기판 세정에 최적화된 세정액을 직접 제조 가능하고, 초음파를 세정액을 방출하기 위한 수단으로 사용하며, 세정액이 방출되는 세정액 방출부의 형상을 제어하여, 세정액이 수 마이크로의 미세 입자 상태로 기판을 세정 가능한, 액적을 이용하는 대면적용 초음파 세정장치에 관한 것이다.
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