특허보유현황
공기를 이용하는 초음파 건식 세정장치 및 세정시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170114434
출원일
2017-09-07
공개번호
1020190027534
공개일
2019-03-15
등록번호
1019888690000
등록일
2019-06-07
IPC 분류
H10P 72/00|B08B 3/12|H10P 10/00
대표도면
요약
본 발명은 공기를 이용하는 초음파 건식 세정장치에 관한 것으로서, 메타물질을 이용하여 초음파를 집중시키거나 증폭시켜 초음파의 음압을 극대화 시킬 수 있는, 공기를 이용하는 초음파 건식 세정장치에 관한 것이다.
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