특허보유현황
대면적 기판용 기체를 이용한 초음파 건식 세정장치 및 세정방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170114472
출원일
2017-09-07
공개번호
1020190027547
공개일
2019-03-15
등록번호
1019905830000
등록일
2019-06-12
IPC 분류
H10P 72/00|B08B 3/12|H10P 10/00
대표도면
요약
본 발명은 대면적 기판용 기체를 이용한 초음파 건식 세정장치 및 세정방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기체와 초음파를 이용하여 기판을 세정하여 세정공성을 단순화 하고, 세정과정 후 제조되는 기판의 신뢰성을 향상시킨 대면적 기판용 기체를 이용한 초음파 건식 세정방법에 관한 것이다.
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