특허보유현황
특정 영역에 나노 패턴을 가진 나노 임프린트 복제 몰드의 제작 방법 및 방법 및 상기 방법에 의해 제작된 나노 임프린트 복제 몰드
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170115728
출원일
2017-09-11
공개번호
1020190028887
공개일
2019-03-20
등록번호
1019905950000
등록일
2019-06-12
IPC 분류
G03F 7/00|G03F 7/16
대표도면
요약
본 발명의 목적은 오버레이해야 할 패턴들의 크기 수준이 최대 1000배 가량 차이나는 마이크로-나노 복합 패턴을 제작함에 있어서, 복제 몰드의 변형에 의하여 원치 않는 접촉이 발생하는 문제를 해결할 수 있도록, 특정 영역에만 나노 패턴을 가지며 나머지 부분에는 큰 단차를 가지는 형태의 복제 몰드를 용이하게 제작할 수 있도록 하는, 특정 영역에 나노 패턴을 가진 나노 임프린트 복제 몰드의 제작 방법 및 방법 및 상기 방법에 의해 제작된 나노 임프린트 복제 몰드를 제공함에 있다.
전문보기
기술이전 상담신청