특허보유현황
광을 반사하는 마스크 패턴을 이용한 패턴 형성방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170120995
출원일
2017-09-20
공개번호
1020190032764
공개일
2019-03-28
등록번호
1019861060000
등록일
2019-05-30
IPC 분류
H10P 76/40|G03F 7/20
대표도면
요약
광을 반사하는 마스크 패턴을 이용한 패턴 형성방법에서, 기판의 상면에 잉크를 도포한다. 상기 기판의 하면에 광을 반사하는 광 반사부가 형성된 마스크 패턴을 배치한다. 상기 기판의 상부에서 광을 제공한다. 상기 제공된 광이 상기 광 반사부에서 반사되어 상기 잉크를 선택적으로 경화 또는 소결하여 패턴을 형성한다. 상기 마스크 패턴을 제거한다. 상기 경화 또는 소결되지 않은 잉크를 상기 기판으로부터 제거한다.
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