특허보유현황
복제 스탬프 제조장치 및 이의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170133264
출원일
2017-10-13
등록번호
1019537610000
등록일
2019-02-25
IPC 분류
G03F 7/00|G03F 7/20|G03F 7/40
대표도면
요약
본 발명은 복제 스탬프를 제조할 때 복제 스탬프를 구성하는 중간층의 두께를 균일하게 형성되도록 하는 복제 스탬프 제조장치 및 이의 제조방법 방법에 관한 것이다. 본 발명은 기판층, 중간층 및 패턴층이 순차적으로 적층되어 이루어지는 복제 스탬프를 제조하기 위한 복제 스탬프 제조장치에 있어서, 상기 기판층을 지지하는 지지척; 상기 패턴층이 적층된 마스터 기판을 상기 기판층 측으로 가압하는 가압척; 상기 기판층과 상기 마스터 기판 사이에 배치되어, 상기 중간층을 형성하기 위한 중간층 재료의 두께를 조절하기 위한 두께조절부재; 상기 지지척의 상면에 상하 방향으로 배치되는 지지봉; 및 일단부는 상기 가압척에 결합되고, 타단부는 상기 가압척이 상기 지지척을 향해 하강할 수 있도록 상기 지지봉에 대하여 슬라이딩 가능하게 결합되는 지지바;를 포함하는 것을 특징으로 하는 복제 스탬프 제조장치 및 이의 제조방법을 제공한다.
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