특허보유현황
멀티 프로브 시스템
출원인
한국생산기술연구원|한국전기연구원|한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170153155
출원일
2017-11-16
공개번호
1020190056091
공개일
2019-05-24
등록번호
1020494130000
등록일
2019-11-21
IPC 분류
G01R 31/28|G01R 1/073|G01R 1/04
대표도면
요약
본 발명은 여러 개의 기판을 동시에 검사할 수 있는 멀티 프로브 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 기판, 상기 기판을 지지하는 척 및 상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 검사할 수 있는 프로브 카드를 공급하는 공급 유닛과 상기 공급 유닛에서 공급받은 상기 기판, 상기 척 그리고 상기 프로브 카드를 하나의 검사 카트리지로 결합시키는 얼라이너 유닛과 그리고 상기 얼라이너 유닛에서 합쳐진 상기 검사 카트리지가 놓이는 검사 챔버와 상기 검사 챔버에 놓인 상기 검사 카트리지와 전기적으로 연결되어 상기 검사 카트리지의 상기 기판을 검사하는 테스트부를 포함하는 검사 유닛을 포함하되 상기 검사 챔버는 복수개가 제공되며, 하나의 검사 챔버에는 하나의 상기 검사 카트리지가 놓이는 멀티 프로브 시스템을 포함한다.
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