특허보유현황
양자 효율 측정 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170154056
출원일
2017-11-17
등록번호
1019260580000
등록일
2018-11-30
IPC 분류
G01N 21/64
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예에 따른 양자 효율 측정 장치는 구형 챔버, 상기 구형 챔버에 설치되며 시료가 장착되는 시료 장착부, 상기 구형 챔버에 연결되며 상기 시료에 여기광을 조사하는 광 조사부, 상기 구형 챔버에 연결되며 상기 시료에서 발생한 광을 검출하는 광 검출부, 상기 구형 챔버에 연결되며 상기 구형 챔버 내부를 진공 상태로 만드는 진공부, 그리고 상기 구형 챔버에 연결되며 상기 구형 챔버 내부에 비활성 가스를 유입시키는 가스 공급부를 포함한다.
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