특허보유현황
스캐닝 방식의 노광 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170154945
출원일
2017-11-20
등록번호
1019222040000
등록일
2018-11-20
IPC 분류
G03F 7/20|H10H 20/00
대표도면
요약
스캐닝 방식의 노광 장치는 XY 스테이지와 광원 유닛 및 현미경 유닛을 포함한다. 광원 유닛은 회전 틸트 유닛을 매개로 XY 스테이지에 설치되고, 복수의 발광 다이오드를 포함하며, 노광 타겟을 지지하는 기판보다 작은 크기를 가진다. 현미경 유닛은 광원 유닛에 결합된다. 광원 유닛과 현미경 유닛은 XY 스테이지의 특정 위치에서 X축 틸트과 Y축 틸트 및 Z축 회전이 이루어진다.
전문보기
기술이전 상담신청