특허보유현황
마이크로 소자 어레이 전사방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170158348
출원일
2017-11-24
공개번호
1020190060287
공개일
2019-06-03
등록번호
1020122370000
등록일
2019-08-13
IPC 분류
B41F 16/00|B41J 2/22
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 소스기판에서 마이크로 소자를 안정적으로 분리하고, 타겟기판에 마이크로 소자가 안정적으로 전사되도록 하여 공정의 수율을 개선할 수 있는 마이크로 소자 어레이 전사방법을 제공한다. 여기서, 마이크로 소자 어레이 전사방법은 베이스필름과, 접착층과, 비전도성층을 포함하는 캐리어필름 마련 단계; 비전도성층을 마이크로 소자 측으로 가압하는 단계; 마이크로 소자를 소스기판으로부터 박리하여 비전도성층에 전사하는 단계; 마이크로 소자에 전사필름을 부착하는 단계; 비전도성층으로부터 접착층 및 베이스필름을 제거하는 단계; 마이크로 소자에 마련되는 제1전극과, 타겟기판의 상면에 마련되는 제2전극 사이에 전도성 물질을 위치시켜 가고정하는 단계; 그리고 전도성 물질에 제1전극 및 제2전극을 접합하는 단계를 포함한다.
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