특허보유현황
연성 가스센서 및 그 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170179677
출원일
2017-12-26
공개번호
1020190078016
공개일
2019-07-04
등록번호
1020016640000
등록일
2019-07-16
IPC 분류
G01N 27/12|G01N 33/00|C01G 41/02
대표도면
요약
본 발명은 연성 기판; 상기 연성 기판 일면에 중공형 과립상의 가스 감응 산화물이 증착되어 형성된 가스 감지층; 및 상기 가스 감지층의 일면에 형성된 감지 전극;을 포함하고, 상기 가스 감지층은 가스 감응 산화물 과립을 상온에서 진공 분사하여 형성되는, 연성 가스센서 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
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