특허보유현황
나프티네이트계 광경화성 무기물 전구체 조성물 및 이를 이용한 패턴 전사 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180004827
출원일
2018-01-15
공개번호
1020180008841
공개일
2018-01-24
등록번호
1019300750000
등록일
2018-12-11
IPC 분류
G03F 7/004|G03F 7/028|H10P 76/40|B82Y 40/00
대표도면
요약
본 발명은 나프티네이트계 화합물을 기반으로 하는 광경화성 무기물 전구체 조성물과 이를 이용한 무잔류층 패턴 전사 방법에 관한 것으로, 금속 이온을 함유하고 있는 나프티네이트계 무기물 전구체 조성물을 이용하여 광경화성 무기물을 기반으로 하는 수지를 합성하고, 이를 나노 임프린트 기술에 적용하여 패턴 사이에 잔류층이 발생하지 않아 정밀한 미세 패턴을 형성하는 방법에 관한 것이다.
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