특허보유현황
공정 모니터링을 위한 플라즈마 반응기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180011467
출원일
2018-01-30
공개번호
1020190092092
공개일
2019-08-07
등록번호
1020237050000
등록일
2019-09-16
IPC 분류
H01J 37/32
대표도면
요약
공정 모니터링을 위한 플라즈마 반응기는, 진공 배기관에 접속되는 관형의 접지 전극과, 접지 전극에 결합되며 접지 전극과 반대되는 단부의 내측에 관형의 스페이서를 구비한 관형의 유전체와, 유전체의 외면에서 유전체의 길이 방향과 나란하게 위치하는 고전압 전극과, 스페이서와 접하며 유전체의 단부에 결합된 시창구를 포함한다. 고전압 전극은 접지 전극에 대해 최소 간격으로부터 최대 간격에 이르는 간격 범위를 가지며, 전원으로부터 플라즈마 발생을 위한 구동 전압을 인가받는다.
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