특허보유현황
공정 모니터링을 위한 플라즈마 반응기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180011468
출원일
2018-01-30
공개번호
1020190092093
공개일
2019-08-07
등록번호
1020466370000
등록일
2019-11-13
IPC 분류
G01N 21/15|B01J 19/08|H01J 37/32|G01N 21/25
대표도면
요약
공정 모니터링을 위한 플라즈마 반응기는, 진공 배기관의 외측에 위치하는 관형의 유전체와, 유전체의 일측 단부와 진공 배기관을 연결하는 유전체 홀더와, 유전체의 타측 단부와 진공 배기관을 연결하는 접지 전극과, 유전체의 외면에서 유전체와 나란하게 위치하는 고전압 전극과, 유전체와 거리를 두고 유전체 홀더의 단부에 결합된 시창구와, 시창구와 접하는 유전체 홀더의 단부 내측에 위치하며 유전체보다 작은 내경을 가지는 관형의 스페이서를 포함한다. 고전압 전극은 접지 전극에 대해 최소 간격으로부터 최대 간격에 이르는 간격 범위를 가지며, 전원으로부터 플라즈마 발생을 위한 구동 전압을 인가받는다.
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