특허보유현황
순간가열방식 및 용액전사방식의 임프린트 장치와, 그 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180018316
출원일
2018-02-14
공개번호
1020190098405
공개일
2019-08-22
등록번호
1020222680000
등록일
2019-09-10
IPC 분류
G03F 7/00|G03F 7/16
대표도면
요약
본 발명은 순간가열방식 및 용액전사방식의 임프린트 장치와, 그 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 헤드 유닛의 경화수단이 열 또는 자외선에 의한 경화가 선택적으로 가능하도록 형성되어, 용액전사방식 또는 열에 의한 임프린트가 모두 가능하며, 열에 의한 임프린트 공정 시, 펄스 기반의 순간가열방식으로 스탬프 표면에 열이 공급됨으로써, 기판의 열변형 문제를 극복하고, 공정시간 단축 및 대면적 패터닝이 가능한 임프린트 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
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