특허보유현황
플라즈마 발생기 및 플라즈마 처리 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180031524
출원일
2018-03-19
공개번호
1020190109885
공개일
2019-09-27
등록번호
1020777690000
등록일
2020-02-10
IPC 분류
H05H 1/24
대표도면
요약
플라즈마 발생기는 액상 매질을 수용하며 접지된 금속 용기와, 적어도 일부가 액상 매질에 잠기도록 금속 용기에 설치되는 고전압 전극부를 포함한다. 고전압 전극부는 기체 이송관과 다공성 튜브 및 전원부를 포함한다. 기체 이송관은 기체 공급부로부터 기체를 공급받아 이송한다. 다공성 튜브는 기체 이송관의 단부에 연결되며, 제공받은 기체를 미세한 기포 형태로 쪼개어 액상 매질로 분출한다. 전원부는 기체 이송관과 다공성 튜브에 구동 전압을 인가한다.
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