특허보유현황
플라즈마 반응기 일체형 진공 펌프
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180031525
출원일
2018-03-19
등록번호
1020237040000
등록일
2019-09-16
IPC 분류
H01J 37/32|C23C 14/56
대표도면
요약
플라즈마 반응기 일체형 진공 펌프는 하우징, 한 쌍의 로터, 유전체, 및 고전압 전극을 포함한다. 하우징은 흡입구와 배기구를 가진다. 한 쌍의 로터는 하우징의 내부에서 서로 맞물리게 설치되며, 모터의 동력에 의해 회전하여 압력을 저감시키고, 하우징과 함께 접지된다. 판형의 유전체는 한 쌍의 로터와 마주하도록 하우징에 설치된다. 고전압 전극은 유전체의 외면에 위치하고, 전원으로부터 플라즈마 발생을 위한 구동 전압을 인가받는다.
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