특허보유현황
마이크로 소자 전사장치 및 마이크로 소자 전사방법
출원인
한국기계연구원|재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록상태
등록
출원번호
1020180037370
출원일
2018-03-30
등록번호
1020126920000
등록일
2019-08-14
IPC 분류
H10P 72/00|H10P 74/00|H10H 29/20
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 마이크로 소자의 전사 공정 효율이 개선될 수 있는 마이크로 소자 전사장치 및 마이크로 소자 전사방법을 제공한다. 여기서, 마이크로 소자 전사장치는 제1흡착부, 제2흡착부, 정렬부, 이송부, 가압부 그리고 안내부를 포함한다. 제1흡착부에는 마이크로 소자가 점착되고 제1얼라인마크가 형성된 전사필름이 흡착된다. 제2흡착부에는 타겟기판이 흡착된다. 정렬부는 타겟기판과 전사필름이 얼라인되도록 제2흡착부의 위치를 정렬한다. 이송부는 정렬부 및 제2흡착부를 제1수평방향으로 이송시킨다. 가압부는 제1수평방향으로의 이송경로 상에 구비되고, 타겟기판에 마이크로 소자가 가점착된 상태로 이송되는 제2흡착부의 상부에서 전사필름을 가압하여 마이크로 소자를 타겟기판에 전사시킨다. 안내부는 제1수평방향으로의 이송경로 상에서 가압부의 후단에 구비되고, 전사필름이 가압부를 지나는 지점에서 상측으로 벤딩되어 전사되는 마이크로 소자로부터 분리되도록 전사필름이 상측으로 이동되도록 안내한다.
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