특허보유현황
전사필름 및 이를 이용한 전사방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180037371
출원일
2018-03-30
공개번호
1020190114527
공개일
2019-10-10
등록번호
1020885180000
등록일
2020-03-06
IPC 분류
H05K 3/34
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 마이크로 소자와의 점착력 제어가 용이한 전사필름 및 이를 이용한 전사방법을 제공한다. 여기서, 전사필름은 제1필름 그리고 제2필름을 포함한다. 제1필름의 일면에는 마이크로 소자가 점착된다. 제2필름은 제1필름의 타면에 마련된다. 제1필름은 마이크로 소자가 타겟기판에 가압될 때, 타겟기판에 의해 마이크로 소자에 외부응력이 가해지면 제1필름에서 마이크로 소자에 가압되는 부분이 파단되어 마이크로 소자와의 접촉 계면에서 비정합(nonconformal) 접촉이 발생되도록 하는 파단부가 생성되도록 형성된다.
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