특허보유현황
공정 모니터링을 위한 플라즈마 분석 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180038139
출원일
2018-04-02
등록번호
1020258730000
등록일
2019-09-20
IPC 분류
H01J 37/32|H05H 1/00
대표도면
요약
플라즈마 분석 장치는 가이드 관, 교정 광원, 교정 광 안내부, 가시창, 및 분광 분석기를 포함한다. 가이드 관은 반응 챔버로부터 확장되며, 분리부에 의해 분리된 플라즈마 광 유로와 교정 광 유로를 가진다. 교정 광원은 가이드 관의 외측에 위치한다. 교정 광 안내부는 가이드 관에 설치되어 교정 광원의 교정 광을 교정 광 유로에 제공한다. 가시창은 가이드 관의 단부에 위치한다. 분광 분석기는 가시창의 외측에 위치하며, 가시창을 투과한 플라즈마 광과 교정 광을 분석한다.
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