특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
마이크로 소자 전사방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180044104
출원일
2018-04-16
공개번호
1020190120658
공개일
2019-10-24
등록번호
1020487470000
등록일
2019-11-20
IPC 분류
H10W 72/00|H10P 72/00|H10H 29/01
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 더 다양한 마이크로 소자에 적용할 수 있고 전사 효율을 높일 수 있는 마이크로 소자 전사방법을 제공한다. 여기서, 마이크로 소자 전사방법은 제1방향을 따라 제1속도로 타깃기판을 이송시키는 단계와, 전사필름에 점착된 마이크로 소자를 타깃기판의 상부에 대향되게 배치하고 전사필름을 제1방향을 따라 공급하는 단계와, 전사필름이 타깃기판에 전사되는 마이크로 소자에서 분리된 후 상측으로 굽어져 굽힘원호를 형성하고, 굽힘원호를 형성한 후 이송되는 상측 전사필름이 타깃기판의 상측에서 회전하는 가압롤러에 의해 가압되면서 마이크로 소자가 점착되어 공급되는 하측 전사필름에 압력이 전달되도록 하는 단계와, 굽힘원호를 형성한 후 이송되는 상측 전사필름이 제1방향의 반대방향인 제2방향을 따라 제2속도로 이송되어 회수되는 단계를 포함하고, 제1방향을 기준으로, 굽힘원호의 제1중심은 가압롤러의 제2중심보다 전방에 형성된다.
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