특허보유현황
나노패턴을 가지는 금속층 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180061151
출원일
2018-05-29
공개번호
1020190135756
공개일
2019-12-09
등록번호
1021429810000
등록일
2020-08-04
IPC 분류
H10P 76/00|H10P 14/46|H10P 10/00|H10W 74/01
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 금속층에 형성되는 나노패턴을 균일하고 깨끗하게 제조할 수 있는 나노패턴을 가지는 금속층 제조방법을 제공한다. 여기서, 나노패턴을 가지는 금속층 제조방법은 제1코팅단계, 제2코팅단계, 제1금속층 형성단계, 제1분리단계 그리고 제거단계를 포함한다. 제1코팅단계는 폴리머층에 형성되는 나노패턴의 상부에 보호층을 코팅한다. 제2코팅단계는 보호층의 상부에 전기도금을 위한 금속소재의 시드층을 코팅한다. 제1금속층 형성단계는 전기도금을 통해 시드층의 상부에 나노패턴에 대응되는 제1전사패턴을 가지는 제1금속층을 형성한다. 제1분리단계는 제1금속층, 시드층 및 보호층으로부터 폴리머층을 분리한다. 제거단계는 보호층 상에 잔존하는 잔존 폴리머를 제거한다. 보호층은 잔존 폴리머가 제거되는 과정에서 제1전사패턴이 손상되는 것을 방지하도록 제1금속층을 보호한다.
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