특허보유현황
임프린트 장치용 롤 스탬프 및 이의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180071553
출원일
2018-06-21
공개번호
1020190058260
공개일
2019-05-29
등록번호
1021099130000
등록일
2020-05-06
IPC 분류
G03F 7/00|H10P 72/00|G03F 7/16
대표도면
요약
본 발명은 외측에 제1음각 패턴을 포함하고, 내측에 제1중공부를 포함하는 원통형 금속 몰드를 제조하는 단계; 상기 원통형 금속몰드와 일정 간격 이격하여 금형을 배치하는 단계; 상기 원통형 금속몰드와 상기 금형의 사이 공간에 충진물을 충진하는 단계; 상기 충진물로부터 상기 금형 및 상기 원통형 금속몰드를 분리하여, 내경에 제1양각 패턴을 포함하고, 내측에 제2중공부를 포함하는 원통형 충진물 몰드를 제조하는 단계; 상기 원통형 충진물 몰드의 상기 제2중공부에 금속물질을 충진하는 단계; 및 상기 충진된 금속물질로부터 상기 원통형 충진물 몰드를 분리하는 단계를 포함하는 롤 스탬프의 제조방법에 관한 것으로, 상기 롤 스탬프의 전면적에 접합부가 없어, 에지 영역들이 분리되는 문제점이 없으며, 또한, 접합부가 없으므로, 연속적으로 패터닝 공정을 수행할 수 있다.
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