특허보유현황
나노마이크로 기반 회절광학소자 및 이의 형성방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180079459
출원일
2018-07-09
등록번호
1019957520000
등록일
2019-06-27
IPC 분류
G02B 30/00|G02B 27/42|C23C 28/00|B82Y 20/00|B82Y 40/00
대표도면
요약
본 발명은 대면적 제작 및 롤 스탬프를 이용한 연속 공정이 가능하며, 기하광학소자에서 구현할 수 없는 여러가지 종류의 광학기능을 구현할 수 있는 나노마이크로 기반 회절광학소자 및 이의 형성방법에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명은 형성하고자 하는 홀로그램의 패턴에 대응되는 나노마이크로 구조체가 형성되어 있는 기판과, 상기 나노마이크로 구조체에 경사증착되어 상기 나노마이크로 구조체의 상면과 측면에 증착되는 기능층을 포함하며, 상기 나노마이크로 구조체의 상면은 원형 또는 꼭지점이 만곡지게 이루어진 다각형 또는 이들의 집합체 형상으로 형성되고, 상기 나노마이크로 구조체의 상면과 상기 나노마이크로 구조체의 측면이 이루는 각도는 45° 내지 85°로 형성되며, 상기 기판의 상기 나노마이크로 구조체 사이에는 오목부가 형성되고, 상기 오목부에는 상기 기능층이 증착되지 않는 것을 특징으로 하는 나노마이크로 기반 회절광학소자를 제공한다.
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