특허보유현황
마이크로 소자의 곡면 전사방법 및 마이크로 소자의 곡면 전사장치
출원인
한국기계연구원|재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록상태
등록
출원번호
1020180080375
출원일
2018-07-11
공개번호
1020200006696
공개일
2020-01-21
등록번호
1021083850000
등록일
2020-04-29
IPC 분류
B41F 17/10|B41F 16/00
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 튜브의 외주면에 마이크로 소자를 효과적으로 전사할 수 있고, 전사효율을 높일 수 있는 마이크로 소자의 곡면 전사방법 및 마이크로 소자의 곡면 전사장치를 제공한다. 여기서, 마이크로 소자의 곡면 전사방법은 튜브의 외주면에 접착층을 코팅하는 단계와, 기판의 일면에 마이크로 소자 패턴을 마련하는 단계와, 기판이 튜브의 외주면에 접하도록 위치시키고, 기판 및 튜브 중 하나 이상이 교차하도록 상대 이동시켜 기판 상의 마이크로 소자 패턴을 접착층에 전사시키는 단계와, 접착층을 완전 경화시켜 전사된 마이크로 소자 패턴을 접착층에 고정시키는 단계를 포함한다.
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