특허보유현황
나노 또는 마이크로 구조물이 형성된 마스터를 제작하는 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180081206
출원일
2018-07-12
공개번호
1020200007288
공개일
2020-01-22
등록번호
1023705580000
등록일
2022-02-28
IPC 분류
C23C 14/04|C23C 14/02|C23C 14/58|C23C 14/34|C23C 14/30
대표도면
요약
본 발명은 나노 또는 마이크로 구조물이 형성된 마스터를 제작하는 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 나노 또는 마이크로 구조물이 형성된 마스터를 제작하는 방법은 복제 공정을 위한 마스터를 제작하는 방법에 있어서, 반복적인 성형 공정을 위한 내구성을 가지는 모재를 준비하는 단계 및 상기 모재 상에 증착 물질을 증착시켜 나노 또는 마이크로 크기의 구조물을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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