특허보유현황
공정 모니터링을 위한 플라즈마 반응기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180083062
출원일
2018-07-17
공개번호
1020200008867
공개일
2020-01-29
등록번호
1020802370000
등록일
2020-02-17
IPC 분류
H01J 37/32
대표도면
요약
공정 모니터링을 위한 플라즈마 반응기는 접지 전극부, 유전체, 고전압 전극, 및 시창구를 포함한다. 접지 전극부는 개구가 형성된 상판과, 상판과 마주하는 하판과, 상판과 하판을 연결하는 측벽을 포함하며, 제1 포트를 통해 진공관에 접속된다. 유전체는 상측이 막힌 관형이며, 하단이 개구와 통하도록 상판에 결합된다. 고전압 전극은 유전체의 외면에 위치하고, 하판에 대해 최소 간격으로부터 최대 간격에 이르는 간격 범위를 가지며, 유전체 내부에 강한 플라즈마 영역을 유도한다. 시창구는 측벽에 연결된 제2 포트를 통해 접지 전극부에 결합되고, 유전체 아래에서 접지 전극부의 내부에 형성된 약한 플라즈마 영역과 수평 방향을 따라 마주한다.
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