특허보유현황
신축성 소자의 제작을 위한 패턴 형성방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180091395
출원일
2018-08-06
공개번호
1020200016099
공개일
2020-02-14
등록번호
1021462400000
등록일
2020-08-13
IPC 분류
G03F 7/20|H10P 76/00
대표도면
요약
신축성 소자의 제작을 위한 패턴 형성방법에서, 제1 기판의 상면에 희생층(sacrificial layer) 및 패턴층을 차례로 형성한다. 상기 제1 기판의 상면을 상기 제2 기판과 마주보도록 위치시킨다. 상기 제1 기판의 상부로부터 상기 제1 기판을 통과하여 상기 희생층으로 레이저 광 또는 램프 광을 제공하여, 상기 패턴층을 상기 제2 기판의 상면으로 전사한다.
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