특허보유현황
선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180096596
출원일
2018-08-20
공개번호
1020200021175
공개일
2020-02-28
등록번호
1021081050000
등록일
2020-04-29
IPC 분류
H05K 3/34|H05K 3/12
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 마이크로 소자를 원하는 피치로 전사할 수 있는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치를 제공한다. 여기서, 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치는 제1밀착부, 제1당김부, 제2밀착부 그리고 제2당김부를 포함한다. 제1밀착부는 마이크로 소자 이송체의 공급경로 상의 상측에 구비되고, 제1전사필름의 상면이 밀착된다. 제1당김부는 제1전사필름이 제1밀착부에 밀착되면서 굽어져 상향으로 공급되도록 한다. 제2밀착부는 마이크로 소자 이송체의 공급경로 상의 하측에 구비되고, 제2전사필름의 하면이 밀착된다. 그리고, 제2당김부는 제2전사필름이 제2밀착부에 밀착되면서 굽어져 하향으로 공급되도록 한다. 제1밀착부 및 제2밀착부 중 하나 이상은 마이크로 소자 이송체의 공급방향으로 왕복 이동되면서 마이크로 소자 이송체의 마이크로 소자가 제1전사필름 또는 제2전사필름에 요구되는 목표피치로 전사되어 공급되도록 한다.
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