특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
리모트 플라즈마 장치를 구비한 진공 펌프 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180101436
출원일
2018-08-28
공개번호
1020200024581
공개일
2020-03-09
등록번호
1021578760000
등록일
2020-09-14
IPC 분류
H01J 37/32|F04C 25/02
대표도면
요약
진공 펌프 시스템은 진공관에 연결된 전단 펌프 및 후단 펌프와, 진공관의 외측에 설치된 리모트 플라즈마 장치를 포함한다. 리모트 플라즈마 장치는, 진공관에 형성된 제1 개구를 둘러싸며 진공관의 외벽에 고정된 관형의 접지 전극과, 접지 전극의 단부에 결합된 절연체와, 절연체의 외면에 위치하는 고전압 전극을 포함한다. 접지 전극은, 진공관과 교차하는 제1 관형부와, 제1 관형부의 절연체측 단부와 거리를 두고 제1 관형부의 내측에 위치하며 진공관의 내경보다 작은 직경의 제2 개구가 형성된 고리 형상의 제한부를 포함한다.
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