특허보유현황
전자현미경용 병렬형 고니오미터
출원인
한국기계연구원|한국기초과학지원연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180131777
출원일
2018-10-31
등록번호
1020603500000
등록일
2019-12-23
IPC 분류
G02B 21/26
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 시료를 편심 없이 회전시킬 수 있는 전자현미경용 병렬형 고니오미터를 제공한다. 여기서, 전자현미경용 병렬형 고니오미터는 베이스 플랫폼부, 무빙 플랫폼부, 구 조인트, 프로브부, 링크조립체부 그리고 회전구동부를 포함한다. 베이스 플랫폼부는 샘플이 마련되는 진공챔버의 외측에 구비된다. 무빙 플랫폼부는 베이스 플랫폼부와 축방향을 따라 이격되게 구비된다. 구 조인트는 베이스 플랫폼부의 중심에 회전 가능하게 결합되고, 프로부는 일단부는 무빙 플랫폼부에 결합되어 축방향으로 연장 구비되고 구 조인트를 관통하여 진공챔버의 내측으로 연장되며 타단부에는 샘플이 마련되는 샘플팁이 형성된다. 링크조립체부는 일단부는 베이스 플랫폼부에 결합되고 타단부는 무빙 플랫폼부에 연결되도록 축방향으로 구비되되, 원주방향을 따라 미리 정해진 간격으로 이격되어 구비되며 다자유도를 가지고 각각 독립적으로 작동하면서 무빙 플랫폼부의 경사를 조절하는 복수의 링크부를 가진다. 회전구동부는 베이스 플랫폼부를 회전시킨다.
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