특허보유현황
경사-회전 노광 헤드 및 이를 구비한 사물인터넷 노광 장비
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180133748
출원일
2018-11-02
공개번호
1020200050749
공개일
2020-05-12
등록번호
1022536930000
등록일
2021-05-12
IPC 분류
G03F 7/20
대표도면
요약
경사-회전 노광 헤드는 XY 스테이지에 결합되어 노광 타겟 위를 움직이며 노광한다. 경사-회전 노광 헤드는, 노광 타겟을 향해 빛을 조사하는 광원 유닛과, 광원 유닛에 결합되며 기준면과 나란한 제1 회전축을 포함하는 틸트각 조절부와, 틸트각 조절부에 결합되며 기준면과 나란하고 제1 회전축과 직교하는 선형 레일을 포함하는 선형 이동부와, 선형 이동부에 결합되며 제1 회전축 및 선형 레일과 직교하는 제2 회전축을 포함하는 회전각 조절부를 포함한다.
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