특허보유현황
평행빔을 이용한 포토리소그래피 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020180161886
출원일
2018-12-14
공개번호
1020200073576
공개일
2020-06-24
등록번호
1021511340000
등록일
2020-08-27
IPC 분류
G03F 7/20
대표도면
요약
본 발명의 목적은 포토리소그래피 장치를 저렴한 가격의 낮은 출력을 가지는 광원으로 구성함과 동시에, 광 품질을 매우 높은 수준으로 관리하여 제작 가능한 형상의 한계를 극복하는, 평행빔을 이용한 포토리소그래피 장치 및 방법을 제공함에 있다. 보다 구체적으로는, 본 발명의 목적은 기존에 비하여 소형 및 저출력의 광원을 사용하되, 광원 및 광원으로부터 발산되는 광을 평행빔으로 만들어주는 광학계를 모듈화하여, 모듈화된 소형의 평행광원부를 기판 상에 도포된 포토레지스트 층 상에서 이동시키면서 노광 공정이 수행되도록 함으로써, 기판 전면적에 대하여 항상 원하는 각도의 평행빔이 노광될 수 있도록 하는, 평행빔을 이용한 포토리소그래피 장치 및 방법을 제공함에 있다.
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