특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
다주파 생성모듈, 다주파 생성모듈을 이용한 초음파 세정장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190024985
출원일
2019-03-05
공개번호
1020200106599
공개일
2020-09-15
등록번호
1021727890000
등록일
2020-10-27
IPC 분류
B08B 3/10|B08B 3/12
대표도면
요약
본 발명은 세정대상물에 도포된 세정액을 사이에 두고 세정대상물과 이격 배치되는 진동전달 플레이트와, 진동전달 플레이트로 서로 다른 주파수의 초음파를 발생 시키는 복수개의 초음파 모듈이 모여 이루어지는 초음파 생성부를 포함하며, 초음파 모듈을 통해 진동전달 플레이트로 전달된 초음파가 세정대상물로 경사지게 방출되어, 초음파가 진동플레이트 하면의 일정 영역에서 연속적으로 무한 반사되며 세정대상물의 넓은 영역을 보다 긴 시간동안 세정하는 다주파 생성 모듈과 이를 이용한 세정장치에 관한 것이다.
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