특허보유현황
마이크로 소자 전사장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190059576
출원일
2019-05-21
등록번호
1021640900000
등록일
2020-10-05
IPC 분류
H10P 72/00|H10P 72/30
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 마이크로 소자의 전사 안정성 및 전사 효율을 높일 수 있는 마이크로 소자 전사장치를 제공한다. 여기서, 마이크로 소자 전사장치는 전사롤러, 베이스블록, 가압로드, 지지블록 그리고 가압부를 포함한다. 전사롤러는 전사필름이 이송되는 제1방향과 교차하는 제2방향으로 연장 구비되고, 전사필름에 점착된 마이크로 소자가 타깃기판으로 전사되도록 전사필름에 점착된 마이크로 소자를 가압한다. 베이스블록은 전사롤러의 상측에 전사롤러의 길이방향을 따라 이격되게 구비되고, 내측에 설치공간을 가진다. 가압로드는 설치공간에 구비되고 베이스블록에 대하여 상하방향으로 이동된다. 지지블록은 베이스블록의 하측에서 가압로드의 하단부에 구비된다. 가압부는 지지블록에 구비되고 전사롤러를 독립적으로 부분 접촉 가압하여 전사롤러가 국부적으로 휘어지도록 한다.
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