특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
조립형 초음파노즐
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190069929
출원일
2019-06-13
공개번호
1020200142728
공개일
2020-12-23
등록번호
1022689970000
등록일
2021-06-18
IPC 분류
B05B 17/06|B08B 3/12|B05B 17/00
대표도면
요약
본 발명은 일반, 산업용 세척기 또는 반도체 기판 등을 세정하기 위한 초음파세척장치에 구비되는 초음파노즐에 관한 것으로, 각기 일체의 석영유리로 이루어진 진동판과 노즐판이 서로 결합 가능한 구조로 형성되어 서로 조립되어, 진동판 및 노즐판의 결합부위에서의 누수를 방지하며 진동판 및 노즐판의 결합부위가 밀폐 가능한 결합구조로 형성됨에 따라서, 높은 구조적 강도를 갖으며 제작이 용이한 조립형 초음파노즐에 관한 것이다.
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