특허보유현황
실시간 정렬이 가능한 미세패턴 롤 제작시스템, 및 이를 이용한 미세패턴 롤 제작방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190076358
출원일
2019-06-26
공개번호
1020210000991
공개일
2021-01-07
등록번호
1023841200000
등록일
2022-04-04
IPC 분류
H10P 72/00|H10W 29/00|H10P 72/50|H10P 76/00
대표도면
요약
실시간 정렬이 가능한 미세패턴 롤 제작시스템, 및 이를 이용한 미세패턴 롤 제작방법에서, 상기 미세패턴 롤 제작시스템은 스테이지, 패턴시트, 롤러, 측정유닛 및 제어부를 포함한다. 상기 스테이지는 제1 방향으로 이송된다. 상기 패턴시트는 상기 스테이지 상에 위치하며, 상면에 복수의 시트마크들이 형성된다. 상기 롤러는 표면에 복수의 롤러마크들이 형성되고, 회전함에 따라 상기 패턴시트가 상기 표면에 감긴다. 상기 측정유닛은 상기 패턴시트와 상기 롤러의 위치 또는 방향을 실시간으로 측정한다. 상기 제어부는 상기 측정유닛의 측정정보를 바탕으로, 상기 패턴시트 및 상기 롤러 사이의 정렬(align)을 제어한다.
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