특허보유현황
폴리곤 스캐너를 포함하는 레이저 가공 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190085339
출원일
2019-07-15
등록번호
1021772430000
등록일
2020-11-04
IPC 분류
B23K 26/06|B23K 26/70
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치는 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생기, 상기 레이저 빔의 광경로 상에 위치하며 상기 레이저 빔을 제1 방향을 따라 대상물의 소정 위치에 조사하도록 제어하는 폴리곤 스캐너, 그리고 상기 대상물이 탑재되며 상기 대상물을 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이송시키는 스테이지를 포함하고, 상기 폴리곤 스캐너는 회전하는 회전판, 상기 회전판의 중앙부에 위치하며 상기 레이저 빔을 반사시키는 폴리곤 미러, 상기 회전판의 가장 자리에 위치하며 상기 폴리곤 미러에서 반사된 레이저 빔을 상기 대상물에 조사하는 복수개의 변위 조절 미러를 포함하고, 상기 복수개의 변위 조절 미러는 상기 대상물에 조사되는 상기 레이저 빔의 위치를 조절할 수 있다.
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