특허보유현황
임프린팅용 헤드 및 이를 포함하는 임프린팅 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190089737
출원일
2019-07-24
공개번호
1020210013415
공개일
2021-02-04
등록번호
1022138540000
등록일
2021-02-02
IPC 분류
G03F 7/00|G03F 7/16|G03F 7/20|G03F 9/00|H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명은 링크 조립체에 가해지는 하중이 고르게 분산되도록 하여 스탬프가 장착되는 수평 기준평면이 원활하게 구동될 수 있고, 과도한 응력 집중에 의한 메커니즘의 파손을 방지할 수 있으며, 웨이퍼와 스탬프 사이의 평행을 유지하여 웨이퍼에 스탬프가 완전 접촉되어 균일한 압력으로 가압될 수 있도록 하는 임프린팅용 헤드 및 이를 포함하는 임프린팅 장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 베이스플레이트; 상기 베이스플레이트에 제1 방향으로 이격되게 배치되며, 상기 베이스플레이트의 반대방향을 향하는 기준평면을 구비하는 이동플레이트; 및 상기 베이스플레이트와 상기 이동플레이트를 연결하며, 상기 기준평면의 중심을 기준으로 원주방향을 따라 미리 정해진 간격으로 이격되게 구비되고 상기 기준평면에 가해지는 가압력에 의하여 각각 독립적으로 탄성 변형되면서 상기 이동플레이트의 경사를 조절하는 복수의 링크부;를 포함하는 특징을 개시한다.
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