특허보유현황
관통비아를 갖는 광전극 및 그 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190103705
출원일
2019-08-23
공개번호
1020210023473
공개일
2021-03-04
등록번호
1023319570000
등록일
2021-11-23
IPC 분류
H01G 9/20|H10F 77/20|H10F 71/00
대표도면
요약
본 명세서에 개시된 기술은 광전극에서 발생한 전하캐리어를 적은 저항손실로 상대전극으로 전달할 수 있는 전기적 연결 비아홀이 형성된 광전극을 제공한다. 본 명세서에 개시된 기술의 실시예에 따른 관통비아를 갖는 광전극은, 제 1 기판; 상기 제 1 기판 상에 형성된 투명도전막; 상기 투명도전막 상에 형성된 광반응막; 상기 제 1 기판을 통과하는 관통홀 내에 설치된 관통비아; 및 상기 관통비아가 형성된 제 1 기판의 반대쪽 면에 형성된 도전막을 포함할 수 있다.
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