특허보유현황
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투명스탬프 제조장치 및 제조방법, 상기 제조장치로 만들어진 투명스탬프, 상기 투명스탬프를 이용한 임프린트 리소그래피 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190104890
출원일
2019-08-27
등록번호
1021684760000
등록일
2020-10-15
IPC 분류
G03F 7/00|G03F 7/20|G03F 7/16|H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명은 투명스탬프 제조장치 및 제조방법, 상기 제조장치로 만들어진 투명스탬프, 상기 투명스탬프를 이용한 임프린트 리소그래피 방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적은, 임프린트 리소그래피에 사용되는 투명스탬프에 있어서, 유연한 투명스탬프를 효과적으로 지지할 수 있으면서도 가장자리 부근에서의 자외선 누출을 효과적으로 막을 수 있어 특히 임프린트 공정 중 특히 스텝앤리피트 방식에 적용 시 결과물의 품질을 향상시킬 수 있는, 투명스탬프 제조장치 및 제조방법, 상기 제조장치로 만들어진 투명스탬프, 상기 투명스탬프를 이용한 임프린트 리소그래피 방법을 제공함에 있다.
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