특허보유현황
연속적으로 개별 이송되는 기판을 이용한 원자층 증착 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190105397
출원일
2019-08-27
공개번호
1020210025392
공개일
2021-03-09
등록번호
1023285990000
등록일
2021-11-15
IPC 분류
C23C 16/455|C23C 16/54|C23C 16/52
대표도면
요약
연속적으로 개별 이송되는 기판을 이용한 원자층 증착 시스템은 레일부, 복수의 이송유닛들, 복수의 기판부들 및 복수의 증착유닛들을 포함한다. 상기 레일부는 원자층 증착 공정을 따라 소정의 경로를 형성하며 연장된다. 상기 이송유닛들은 상기 레일부 상에서 각각이 독립적으로 이송된다. 상기 기판부들은 상기 이송유닛들 상에 각각 실장되어 이송된다. 상기 증착유닛들은 상기 레일부를 따라 서로 다른 위치에 고정되며, 하부에 위치하는 기판부들 각각에 원자층을 증착한다.
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